原创 光刻机心脏病有救了？哈工大13.5nm极紫外光源问世，未来可期！
破局的时刻即将到来！长期以来，光刻机制造芯片的核心设备一直卡住了我国高端芯片制造的咽喉，在极紫外光刻机领域更是如此。前几天，哈工大赵永蓬教授团队宣布成功研发出13.5纳米的极紫外光源，打破了国际技术封锁的一角。极紫外光刻机对于芯片突破有多重要？我国未来的芯片产业该如何破局呢？哈工大13.5纳米极紫外光源所谓极紫外光是指波长在13.5纳米的极端紫外线，它比传统紫外线更短，因而可以实现更高的光刻分辨率
